可用于弱光探测器的量子线研究进展

• 作者: 倪海桥 杜云 杨晓红 牛智川 王鹏飞 贺继方 鞠研玲 韩勤 黄社松
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 V型槽量子线 量子线
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TN471.1
• 语种: 中文

摘要

以量子线作为导电沟道的场效应弱光探测器可在低工作电压下达到很高灵敏度.文章主要对可用于此种弱光探测器的V型和脊形量子线的生长机理和制备方法进行综述,给出了量子线的PL测试结果.采用MBE外延生长法在V型槽图形衬底上生长了OaAs/AlGaAs量子线FET外延结构,扫描电子显微镜下初步判定在V型槽底部形成了截面近三角形的量子线结构.