晶体生长用石英玻璃管镀膜工艺的正交实验研究

• 作者: 刘俊成 张国栋 沈涛 翟慎秋
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 正交设计 碳膜 CdZnTe 晶体生长
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 271-275
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2005字
• 语种: 中文

摘要

运用正交设计,对CdZnTe晶体生长用高纯石英坩埚内壁镀膜过程中的镀膜温度、镀膜时间、气体流量、冷却时间四个因素进行了研究和优化.用金相显微镜,扫描电镜观察分析了不同镀膜工艺条件下得到的碳膜表面形貌,用WS-2005自动划痕仪对碳膜与石英管壁之间的结合力进行了测试.实验结果表明,镀膜温度对碳膜质量影响最为显著,其次是镀膜时间,再次为冷却时间,而气体流量对碳膜质量的影响甚小.镀膜工艺的优化参数:镀膜温度为1010 ℃,气体流量为6 L/h,镀膜时间为4 h,冷却时间为18 h.该工艺参数得到的碳膜较为均匀,且与石英管壁结合强度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国栋	山东理工大学材料科学与工程学院	5	46	4.0	5.0
2	刘俊成	山东理工大学材料科学与工程学院	83	537	13.0	18.0
3	翟慎秋	山东理工大学材料科学与工程学院	16	51	4.0	7.0
4	沈涛	山东理工大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0