梳齿式MEMS加速度计在冲击下的失效分析

• 作者: 庄志强 徐爱斌 林宙峰 蔡伟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 加速度计 失效分析 梳齿 冲击
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术专辑
• 页码范围: 764-768
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.4|TN406
• 字数: 2430字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.12.012

摘要

对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理.通过机械冲击实验并采用扫描电镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)观察及电性能测试等分析技术,研究了梳齿式MEMS加速度计在冲击载荷下的结构与封装失效,运用材料力学理论加以分析论证,发现悬臂梁断裂是较为主要的失效模式,且此类器件的封装失效主要表现为气密性失效和装配工艺失效,为MEMS器件的可靠性设计提供了重要依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄志强	华南理工大学材料科学与工程学院特种功能材料教育部重点实验室	61	663	13.0	23.0
2	蔡伟	工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室	9	27	2.0	5.0
3	林宙峰	华南理工大学材料科学与工程学院特种功能材料教育部重点实验室	4	8	2.0	2.0
5	徐爱斌	工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室	2	9	2.0	2.0