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化学机械抛光
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氧化铈抛光液
悬浮性
再分散性
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化学机械抛光
抛光液膜
流场
数值模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 可循环使用的抛光液
来源期刊 技术与市场 学科
关键词
年,卷(期) 2009,(10) 所属期刊栏目 专利技术
研究方向 页码范围 98
页数 1页 分类号
字数 332字 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
技术与市场
月刊
1006-8554
51-1450/T
大16开
四川省成都市
62-125
1980
chi
出版文献量(篇)
29073
总下载数(次)
69
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