氩氧比例对Al2O3薄膜结构及性能的影响

• 作者: 姚正军 杨和梅 闫凯 陈丹丹
• 来源期刊: 有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 Al2O3薄膜 直流反应磁控溅射 氩氧比 介电性能
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|TB383
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2009.03.009

摘要

以纯铝为靶材,在不同氩氧比例下,采用直流反应磁控溅射方法制备Al2O3薄膜.利用X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、扫描电镜(SEM)和精密阻抗分析等方法检测薄膜的组织结构、化学成分和介电性能.结果表明,在250℃的低温条件下,不同氩氧比例的Al2O3薄膜都为非晶结构.随着氧分量的增加,Al2O3薄膜的表面由平滑致密变得粗糙,化学计量失配度增大.在氧分量较小的气氛下,Al2O3薄膜均匀致密,化学计量失配度较小,Al/O原子比接近2/3.随着氩氧比的增大,Al2O3薄膜的介电常数减小和介电损耗增大,当氩氧比为3:1时,Al2O3薄膜的介电常数较大(ε=7.9～10.3),介电损耗较小(tanδ<0.2),薄膜的介电性能相对较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚正军	南京航空航天大学材料科学与技术学院	108	931	17.0	25.0
2	杨和梅	南京农业大学工学院机械系	22	95	6.0	9.0
3	闫凯	南京航空航天大学材料科学与技术学院	4	17	2.0	4.0
4	陈丹丹	南京航空航天大学材料科学与技术学院	3	15	2.0	3.0