B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征

• 作者: 姜辛 屈芳 庄春强 白亦真 贾福超 赵纪军 邢娇杨
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: BCN薄膜 傅立叶变换红外光谱 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2009.01.005

摘要

采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和2200 cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰,表明沉积的薄膜组分当中,少量碳原子与氮原子结合.而分别溅射石墨和h-BN靶,红外光谱分析显示1100 cm-1处不是B-C键.说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离.