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摘要:
为了摒弃化学镀铜中价格昂贵、环境污染的活化工艺,将分子自组装技术与激光诱导化学镀技术结合,在聚酰亚胺薄膜(PI)上成功实现了图形化微米级金属铜沉积:将PI薄膜通过KOH溶液进行表面水解;经离子交换和高温处理在PI表面束缚纳米银粒子,在PI表面自组装上一层十二硫醇的自组装膜;再用聚焦的激光光刻产生预期的图形,最后实施化学镀后,在PI表面上实现金属铜的图形化沉积.采用XPS,AFM,SEM,ATR-FTIR,半导体特性分析系1统和视频光学接触角测量仪等跟踪表征各过程.结果显示:沉积的铜线宽度为30μm,选择性、导电性良好,本法为化学镀技术提供一种新技术,可用于电子行业.
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文献信息
篇名 聚酰亚胺膜分子自组装与激光诱导图形化学镀铜
来源期刊 材料保护 学科 工学
关键词 分子自组装 激光诱导 化学镀 聚酰亚胺 表面金属化
年,卷(期) 2009,(11) 所属期刊栏目 科技关注
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 TQ153.1
字数 2789字 语种 中文
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