多弧离子镀制备TiN-Cu超硬纳米复合涂层的研究

• 作者: 王从曾 穆静静 郑国龙 马捷
• 来源期刊: 热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 超硬涂层 TiN-Cu复合涂层 纳米晶
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1690.2009.05.005

摘要

采用多弧离子镀技术制备了TiN-Cu超硬纳米复合涂层,并对涂层断口形貌、相组成、择优取向、硬度等进行了测试分析.试验结果表明,用多弧离子镀技术的分层沉积和混合沉积方式都可以制备出硬度高达40.8 GPa以上的TiN-Cu超硬复合纳米涂层.涂层中TiN晶粒尺寸普遍<15 nm,达到了纳米晶水平,且涂层中的Cu含量、TiN择优取向等因素均对涂层硬度有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马捷	北京工业大学材料科学与工程学院	39	235	9.0	13.0
2	王从曾	北京工业大学材料科学与工程学院	37	306	11.0	16.0
3	郑国龙	北京工业大学材料科学与工程学院	2	16	1.0	2.0
4	穆静静		2	1	1.0	1.0