多晶硅生产企业本质安全化设计的探讨

• 作者: 陈亮
• 来源期刊: 中国有色冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅生产 本质安全 设计 目标 流程
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 工程设计
• 页码范围: 30-32,54
• 页数: 4页
• 分类号: TQ2|TP3
• 字数: 2680字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6103.2009.05.007

摘要

叙述了多晶硅生产线设计和建设中进行本质安全化设计的必要性.通过分析可行性研究、工艺设计、初步设计、施工图设计等各阶段本质安全化设计的目标和方法,探索了多晶硅生产工艺研发中的本质安全化设计策略,提出了多晶硅生产过程的本质安全化设计流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈亮		5	5	2.0	2.0