二代倒像微光像增强器管内质量污染分析

• 作者: 侯志鹏 刘峰 师宏立 徐江涛 徐珂 李敏 程耀进
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 倒像 微光像增强器 质量污染 成品率 油蒸气 视场暗斑
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TN223
• 字数: 2464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.03.008

摘要

针对二代倒像微光像增强器研制中出现的制管成品率低的问题,全面对制管工艺过程中质量污染产生的根源和污染给管子带来的问题进行了分析、讨论,并结合制管进行了证实.有油真空处理设备中的油蒸气返流是造成管子部件污染的主要原因,而制管过程中工艺质量控制不严格和技术不成熟均影响了器件研制的成功率.通过对制管技术的研究和工艺的改进,研制成功了性能指标全面合格的二代倒像微光像增强器.