一种聚合物实心微针的制作方法

• 作者: 李以贵 汪鹏 肖丽君 陈翔 陈迪
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 医学
• 关键词: 微针 原始模具 最终聚合物模具 针尖 针体 聚二甲基硅氧烷
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术专辑
• 页码范围: 744-749
• 页数: 6页
• 分类号: R197.39|TH706
• 字数: 3683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.12.008

摘要

为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针.通过KOH腐蚀液刻蚀晶面为{100}的Si片和紫外线对准光刻SU8胶得到由Si-SU8胶构成的原始模具,再在该模具上注入聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行转模,固化脱模后在PDMS微针二级模具表面溅射一层Cu/Cr金属薄膜,然后再注入PDMS,得到最终的聚合物微针模具,对该模具进行浇铸工艺,便可批量制作微针.通过浇注PDMS获得微针初始结构,使针尖和针体合为一体,提高了脱模的可靠性;通过改变设计,能得到不同截面尺寸和长度的微针,因此这种方法具有很高的灵活性.