InP/GaAsSb/InP双异质结双极晶体管技术发展现状(Ⅰ)

• 作者: 李献杰 齐志华
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: GaAsSb/InP 双异质结双极晶体管 单异质结双极晶体管 Ⅱ型双异质结双极晶体管 微空气桥
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 721-725
• 页数: 5页
• 分类号: TN385
• 字数: 4233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.08.001

摘要

InP/CaAsSb/InP双异质结双极晶体管(DHBT)以其独特的交错Ⅱ型能带结构,在频率特性、击穿特性和热特性等方面较传统的InP/InGaAs SHBT与InP/InG&As/InP DHBT等显示出极大的优越性.对InP/GaA8Sb/InP Ⅱ型DHBT技术的提出、外延层结构设计与生长、器件结构设计、器件制造工艺与优化以及国内外发展情况研究水平、发展趋势和商业化情况进行了系统的回顾和展望.指出结合垂直方向材料结构优化缩小器件尺寸和采用微空气桥隔离基极电极结构是InP/GaAsSb/InP DHBT向THz截止频率发展的最重要的技术路线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李献杰	中国电子科技集团公司第十三研究所	19	74	6.0	7.0
2	齐志华	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	10	2.0	3.0