非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究

• 作者: 李伟 李志 蒋亚东 蔡海洪 陈超 龚宇光
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅 微测辐射热计 有限元分析 热学性能 力学性能
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1122-1126
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.08.011

摘要

通过理论计算及有限元方法仿真研究微测辐射热计的热学和力学性能,得出了微桥桥腿尺寸与微桥的热导、热时间常数、桥面温升以及由微桥自身重力引起的位移形变的关系;提出了为了兼顾较好的热学和力学性能,需要选取合适的微桥桥腿尺寸的观点.以像元尺寸50μm×50μm的微桥结构为例,选取了非晶硅微测辐射热计理论上的最佳桥腿尺寸,得到桥腿的热导值5.05×10-7W/K,热时间常数1.18ms,桥面温升34.71mK,最大位移形变量.62×10-4μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	龚宇光	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	5	25	3.0	5.0
3	李伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	75	359	10.0	14.0
4	蔡海洪	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	18	3.0	4.0
5	李志	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	7	24	3.0	4.0
6	陈超	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	22	57	4.0	5.0