一种新型 MEMS 倾角仪的设计及测试

• 作者: 唐立军 张开锐 李倩
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 倾角仪 压阻
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 197-200
• 页数: 4页
• 分类号: TN702
• 字数: 1561字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2009.03.002

摘要

设计了一种新结构的 MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems) 倾角仪, 该倾角仪基于压阻测量, 采用 SOI 工艺和后续加工完成. 描述了该 MEMS 倾角仪的设计、测试及其角度解算方法. 进行了角度测试实验, 结果证明了解算值与实际值符合良好, 且该倾角仪具有很高的灵敏度和 360°的测量范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李倩	四川大学制造科学与工程学院	77	271	8.0	15.0
2	唐立军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	10	2.0	3.0
3	张开锐	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	26	3.0	4.0