硅镜超声加工机进给压力的检测与控制系统

• 作者: 余芳 张云电 陈炎 韩俊慧
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅镜 压力检测与控制系统 超声加工
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 电气与仪表技术
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.4
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2009.01.022

摘要

超声加工是硅镜加工的有效加工方法,但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎.研究表明,工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因.为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性,采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测,并反馈给控制元件,一旦所检测到的压力超过所设定的额定压力值.控制元件就向执行元件发出执行指令,从而达到控制工具的目的.试验表明,该压力检测与控制系统可以有效地保证对硅镜表面所施加压力的稳定性,从而减少了硅镜在加工过程中出现破裂的情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张云电	杭州电子科技大学机械工程学院	57	508	10.0	20.0
2	余芳	杭州电子科技大学机械工程学院	4	12	2.0	3.0
3	韩俊慧	杭州电子科技大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
4	陈炎	杭州电子科技大学机械工程学院	3	18	3.0	3.0