占空比对微球a-C:H薄膜制备的影响

• 作者: 何智兵 刘兴华 吴卫东 张宝玲 杨向东
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 微球 a-C H薄膜 粗糙度 壁厚均匀性
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 6436-6440
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.09.090

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积方法(LPPCVD),以反式二丁烯(T2B)和氧气(H2)为工作气体,利用间歇跳动模式在微球表面制备30 μm厚a-C:H涂层.利用原子力显微镜(AFM)和X射线照相技术对涂层表面形貌及壁厚均匀性进行表征,结果表明:随占空比减小,制备出的微球a-C:H薄膜表面粗糙度旱下降趋势,而壁厚均匀性随占空比的减小变化不明显;当占空比为1/5时,在直径为(280±50) μm的聚乙烯醇-聚苯乙烯(PVA-PS)双层球表面制备出30 μm厚的a-C:H涂层,表面均方根粗糙度(RMS)低于30 nm;占空比为1/7时,不能维持微球的稳定跳动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
2	杨向东	四川大学物理科学与技术学院	278	1103	14.0	21.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	张宝玲	四川大学物理科学与技术学院	5	23	3.0	4.0
8	刘兴华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	25	3.0	5.0