一种新型三自由度谐振式MEMS陀螺

• 作者: 卢新艳 朱奎宝 李博 杨拥军 高振宁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械陀螺 品质因数 谐振频率 谐振器 运动放大器
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术专辑
• 页码范围: 730-734
• 页数: 5页
• 分类号: TH703|U666.123
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.12.005

摘要

针对谐振式MEMS陀螺检测带宽与检测灵敏度相矛盾的问题,根据两质量块谐振器具有对机械位移放大的特点,提出了一种新型结构的谐振式MEMS陀螺,采用单自由度驱动、双自由度检测,驱动模态谐振频率落在检测模态两个质量块谐振频率叠加形成的平坦区域内,有效增加了陀螺检测带宽,提高了陀螺的抗干扰性能.建立了新型谐振式MEMS陀螺结构动力学模型,对陀螺结构进行有限元仿真分析,在常压环境下对陀螺结构进行测试.结果表明,该结构有效增加陀螺检测带宽,改善了陀螺的抗干扰性能,克服了由于工艺加工精度不足带来的陀螺结构不对称所引起的误差,降低了对加工工艺和加工精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博		22	45	4.0	5.0
2	杨拥军		44	220	7.0	13.0
3	卢新艳		5	91	3.0	5.0
4	朱奎宝		1	3	1.0	1.0
5	高振宁		2	6	2.0	2.0