高精度绿激光显微精密修调机的研制

• 作者: 卢飞星 游立德 闵大勇 陈泽民
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 绿激光 激光修调 厚膜调阻
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.01.011

摘要

介绍了自行研制的绿激光显微精密修调机,分析了其系统组成结构.该系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成.采用的半导体端面泵浦Nd:YVO-4电光调Q倍频532 nm激光器,保证了较高的峰值功率密度和光束质量,激光聚焦及定位光学系统保证了更小的聚焦光斑.经测试表明绿激光显微精密修调机的生产效率比国外同类设备提高了近50%,其技术指标达到了预期要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闵大勇		5	1	1.0	1.0
2	卢飞星		6	34	2.0	5.0
3	陈泽民		1	0	0.0	0.0
4	游立德		1	0	0.0	0.0