一种小量程风速风向传感器的设计

• 作者: 慕新仓 施健康 王晓蕾 韩有君
• 来源期刊: 气象水文海洋仪器
• 关键词: 风速风向 MEMS 微机械 电容
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-009X.2009.01.001

摘要

设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器,传感器由四个相互正交的电容器构成,每个电容器包括可动极板和固定极板,此结构将风速和风向信息转换为可动极板的位移,通过测量四个电容器的电容来检测风速和风向.基于流体力学原理对传感器进行了分析,理论计算了传感器的输出电容和风速风向之间的变化关系,为传感器设计了一套基于MEMS的加工工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓蕾	解放军理工大学气象学院	85	363	11.0	16.0
2	慕新仓	解放军理工大学气象学院	11	36	3.0	6.0
3	韩有君	解放军理工大学气象学院	6	20	2.0	4.0
4	施健康	解放军理工大学气象学院	9	29	4.0	5.0