掺杂PST薄膜的制备与介电调谐性能研究

• 作者: 吴敏 张园 徐晓飞 邹隽
• 来源期刊: 山东陶瓷
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛酸锶铅 K掺杂 薄膜 Sol-Gel 介电调谐
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 科学实验
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: O484.42
• 字数: 2724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0639.2009.02.004

摘要

采用Sol-Gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb0.3Sr0.7)1-xKxTiO3(PST)(x=0,1 mol%,2.5 mol%,5 mol%)多层均匀薄膜,并研究了它们的介电调谐性能.发现掺杂后薄膜的晶粒尺寸明显减小,介电常数降低及介电损耗减小.1MHz时,随K含量的从0增加至5mol%,薄膜的介电常数从841降低至539,而介电损耗由0.134减小到0.058,其微波介电综合性能改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晓飞	三峡大学机械与材料学院	5	11	2.0	3.0
2	张园	三峡大学机械与材料学院	21	68	4.0	7.0
3	邹隽	三峡大学机械与材料学院	16	58	4.0	7.0
4	吴敏	三峡大学机械与材料学院	15	44	4.0	6.0