利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究

• 作者: 侯海虹 吴师岗 孙喜莲 田光磊 范正修 邵建达 马小凤
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光学薄膜 表面散射 总积分散射仪
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 6425-6429
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.09.088

摘要

利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO3(YSZ)薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根(RMS)粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究,并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合,对测量结果做出了合理解释,从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	侯海虹	常熟理工学院物理系	8	113	6.0	8.0
5	田光磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	87	5.0	6.0
6	吴师岗	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	31	4.0	5.0
9	孙喜莲	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	64	5.0	5.0
10	马小凤	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	24	2.0	3.0