气体声表面波传感器的研究进展

• 作者: 刘明 李昊峰 李维龙 贾锐 陈晨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 气体传感器 换能器 插入损耗 敏感膜 有机聚合物
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术专辑
• 页码范围: 715-719,738
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.12.002

摘要

主要从声表面波(SAW)结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状.重点分析了国外出现的换能器新型结构,对其优点进行了初步分析,并和传统的SAW气体传感器结构做了比较,指出这些新结构尽管存在一些缺点,目前还不能取代传统的通用式结构,但是在某些特殊场合具有传统结构所不具备的优点.在敏感膜方面,主要从新材料方面入手,分析了目前主要使用的敏感膜材料,并结合SAW气体传感器的发展趋势,总结出敏感膜的发展方向.同时,对SAW气体传感器的其他组成部分如衬底材料和信号处理电路也作了简单的回顾,最后结合国内外研究成果对SAW气体传感器的发展做了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昊峰	中国科学院微电子研究所	10	34	4.0	5.0
2	贾锐	中国科学院微电子研究所	29	160	6.0	11.0
3	刘明	中国科学院微电子研究所	207	1983	20.0	38.0
4	李维龙	中国科学院微电子研究所	3	14	2.0	3.0
5	陈晨	中国科学院微电子研究所	68	446	12.0	18.0