多晶硅切割液的制备工艺改进

• 作者: 谭庆伟 金雅乔 魏力
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 工艺 消化 经济效益
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 333-334
• 页数: 2页
• 分类号: TQ423
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0935.2009.05.015

摘要

通过对多晶硅切割液工艺的改进及废液的回收,带来了产量的增加,排放降低和成本下降导致项目经济效益增长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏力		4	18	3.0	4.0
2	谭庆伟		3	13	2.0	3.0
3	金雅乔		3	10	2.0	3.0