氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

• 作者: 何雯瑾 太云见 袁俊 陈妞 雷晓虹
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷 红外焦平面 氧化钒 工艺
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2009.01.001

摘要

非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位.从氧化钒非制冷焦平面探测器的牺牲层、支撑层、氧化钒等制备工艺进行了研究,为国内非制冷焦平面探测器工程化研究奠定了坚实的技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁俊		14	59	5.0	7.0
2	太云见		11	82	7.0	8.0
3	何雯瑾		8	43	5.0	6.0
4	雷晓虹		1	13	1.0	1.0
5	陈妞		1	13	1.0	1.0