Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能测试及其仿真分析

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Cr/Al双层纳米薄膜 纳米压痕仪 力学性能 有限元
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: O344.3|TB43
• 字数: 2026字
• 语种: 中文

摘要

采用纳米压痕仪测量Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能,结合有限元仿真的手段对压痕测试进行模拟.通过实验测出了双层膜的弹性模量值和硬度值随着压深h的不同而表现出一定的变化规律,以及得出了溅射时由于核能粒子的轰击而形成的界面层的厚度及其力学性能特征.有限元仿真是对纳米压痕实验的补充,找出了应力主要集中在压头附近的区域,并且发现了最大应力主要集中在双层膜的下层Al膜中,而非上层膜Cr膜中.