不同测试条件下TiN薄膜的摩擦学特性研究

• 作者: 聂朝胤 谢红梅
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: TiN薄膜 摩擦学特性 不同测试条件
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|O484
• 字数: 3327字
• 语种: 中文

摘要

采用电弧离子镀技术在45#钢衬底表面沉积了TiN薄膜.用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用球一盘式摩擦磨损试验机评价了在不同测试条件下(干摩擦,水润滑,油润滑)TiN薄膜的摩擦学性能,用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓,用配有能谱仪(EDS)的扫描电镜(SEM)观察和测试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成.结果表明,相对于干摩擦,水润滑和油润滑条件下,TiN薄膜的摩擦系数和磨痕深度都有明显降低的趋势.干摩擦条件下,薄膜表现为磨粒磨损和氧化磨损;水润滑条件下,薄膜表现为疲劳磨损,水对薄膜起到边界润滑作用;油润滑条件下,薄膜几乎无磨损,油起到流体润滑作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂朝胤	西南大学材料科学与工程学院	32	249	9.0	14.0
2	谢红梅	西南大学材料科学与工程学院	10	100	6.0	10.0