基于MEMS的静电微泵建模与仿真

• 作者: 周良兴 应济 李俊
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 有限元法 静电微泵 泵膜
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 机电一体化和智能化系统设计理论、方法与技术
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TP211.3
• 字数: 2866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2009.01.013

摘要

对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在静态分析中,利用圆型薄板的小挠度变形理论和微机电系统中的静电力驱动理论来模拟静电-结构耦合过程;在泵膜的模态分析、谐响应分析以及非线性瞬态分析中,把腔内的流体当作附加质量作用在泵膜上,近似代替流场对泵膜的影响,从而减小计算量,提高了仿真效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应济	浙江大学现代制造工程研究所	41	442	11.0	19.0
2	李俊	浙江大学现代制造工程研究所	33	274	10.0	15.0
3	周良兴	浙江大学现代制造工程研究所	1	6	1.0	1.0