外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

• 作者: 刘惠平 邹滨雁 邹秀
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 等离子体 射频 鞘层 磁场
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 6392-6396
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.09.082

摘要

采用双流体模型,数值研究入射到射频鞘层偏压电极上的离子能量分布.研究结果表明:磁场在改变离子运动状态的同时,调控着基板上的离子能量分布,使之在垂直基板方向和平行基板方向间转移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹滨雁	大连交通大学理学院	13	33	4.0	5.0
2	刘惠平	大连交通大学理学院	13	14	2.0	3.0
3	邹秀	大连交通大学理学院	13	18	3.0	4.0