硅微陀螺模态频率温度特性的研究

• 作者: 侯占强 吴学忠 满海鸥 肖定邦 陈志华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微陀螺 驱动谐振频率 温度模型 线性回归
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1117-1121
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.08.010

摘要

硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大,为提高精度,对其进行温度误差补偿很有必要,而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量.通过研究模态频率与温度之间的关系,发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性,同时具有很好的温度重复性.由于谐振频率的精度很高,所以用谐振频率测量温度会有很好的分辨率.因此,可以利用驱动模态的谐振频率来标定陀螺表头内部的温度,为下一步的温度补偿提供新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	肖定邦	国防科技大学机电工程与自动化学院	28	149	8.0	11.0
3	侯占强	国防科技大学机电工程与自动化学院	13	72	5.0	7.0
4	陈志华	国防科技大学机电工程与自动化学院	14	100	6.0	9.0
5	满海鸥	国防科技大学机电工程与自动化学院	2	29	2.0	2.0