W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

• 作者: 王庆相 范志康
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 学科: 工学
• 关键词: 靶材 应用 制备技术
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 文献综述
• 页码范围: 52-57
• 页数: 6页
• 分类号: TF1
• 字数: 5634字
• 语种: 中文

摘要

近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范志康	西安理工大学材料科学与工程学院	93	896	16.0	24.0
2	王庆相	西安理工大学材料科学与工程学院	10	53	5.0	7.0