缝纫机针杆表面沉积含过渡层DLC薄膜及性能的研究

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 过渡层 结合力 硬度 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TB34
• 字数: 1522字
• 语种: 中文

摘要

本文以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,采用新型离子束源和磁控溅射源的混合技术在缝纫机针杆上成功制备了具有不同过渡层的类金刚石薄膜,并表征了薄膜的表面形貌,测量了其硬度、结合力、摩擦系数,划痕法的结果表明,增加过渡层后薄膜的结合状况得到明显改善.DLC膜的硬度也得到了提高,摩擦磨损实验结果可以看出样品的摩擦系数均在0.1以下,可以极大地改善不锈钢针杆的摩擦性能.