Bi2Sr2CaCu2O(8+δ)薄膜的分子束外延法制备及结晶性

• 作者: 孙本哲 张炳森 李茂林 王晶晶 祁阳
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bi2Sr2CaCu2O(8+δ)薄膜 分子束外延 衬底温度 臭氧分压 生长速率 错配度
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 663-672
• 页数: 10页
• 分类号: TN405.984
• 字数: 5925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2009.06.005

摘要

在BiO-(Sr+Ca)O-CuO相图上的Bi2Sr2CaCu2O8+6(Bi-2212)相附近选择不同成分,用分子束外延法制备成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究了成分,衬底温度和臭氧分压对Bi-2212相薄膜成相的影响,分析了生长速率和错配度对Bi-2212相薄膜质量的影响.结果表明,Bi-2212相薄膜单相生成的成分范围(原子分数)分别为Bi 26.3%-32.4%,(Sr+Ca) 37.4%-146.5%,Cu 24.8%-32.6%;当衬底温度为720℃且臭氧分压为1.3×10-3 Pa时,在MgO(100)衬底上生长出质量较高的c轴外延Bi-2212相薄膜;通过调整生长速率、更换衬底和插入不同厚度的Bi2Sr2CuO(6+δ)过渡层的方法,可以改善Bi-2212相薄膜的结晶质量.表面形貌和导电特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祁阳	东北大学理学院材料物理与化学研究所	45	91	5.0	8.0
5	李茂林	东北大学理学院材料物理与化学研究所	3	1	1.0	1.0
6	孙本哲	东北大学理学院材料物理与化学研究所	7	0	0.0	0.0
7	王晶晶	东北大学理学院材料物理与化学研究所	3	6	1.0	2.0
8	张炳森	东北大学理学院材料物理与化学研究所	2	1	1.0	1.0