光湿度传感器的折射率感湿机理

• 作者: 王珍媛 顾铮(一先)
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 光湿度传感器 感湿机理 有效折射率 复合模型
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 3242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.05.022

摘要

在综合分析了Maxwell-Garnett理论和有效介质理论的基础上,针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖的复合模型,给出了以吸附参数和陶瓷材料气孔率为变量的薄膜折射率随湿度变化的理论关系.随着吸附参数的增大,SiO2薄膜的折射率增大;随着陶瓷材料气孔率的增大,SiO2薄膜的折射率将减小.利用薄膜折射率的变化检测湿度,灵敏度可以达到10-3数量级.通过计算机理论模拟与Alberto A H等人所做的实验结果对比,证明了该模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珍媛	上海理工大学光学与电子工程信息学院	3	16	2.0	3.0
2	顾铮(一先)	上海理工大学理学院	17	97	5.0	9.0