静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计

• 作者: 崔峰 李胜勇 肖奇军 邵珰珰 陈文元 黄晓刚
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微陀螺 微位移检测 信号发生器 锁相放大器
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: U666.1
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2009.05.024

摘要

为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁橱放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的解调电路.实验和分析结果表明,该电路能实现多自由度微位移检测,设计的多频率信号发生器的频率分辨率能达到0.005821Hz,相位分辨率可以达到0.006rad,检测轴向灵敏度为1.34V/μm,检测径向灵敏度为0.092V/μm,测量电路的轴向位移分辨率为0.45nm,径向位移分辨率为6.6nm,转角的分辨率为0.25μrad,位移检测电路的分辨率,灵敏度和测量范围能够满足静电悬浮转子微陀螺的控制需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖奇军	上海交通大学微纳科学技术研究院	7	22	2.0	4.0
5	崔峰	上海交通大学微纳科学技术研究院	14	38	4.0	5.0
6	陈文元	上海交通大学微纳科学技术研究院	56	274	10.0	14.0
7	李胜勇	上海交通大学微纳科学技术研究院	12	44	3.0	6.0
8	黄晓刚	上海交通大学微纳科学技术研究院	2	13	1.0	2.0
9	邵珰珰	上海交通大学微纳科学技术研究院	1	0	0.0	0.0