微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究.

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 过渡层 金刚石薄膜 铜衬底 附着力
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 2798字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在铜衬底上沉积了微米和纳米两种金刚石薄膜,过渡层均为钛一铝一钼.用场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜的表面及断面形貌,用拉曼(Raman)光谱测量所得金刚石薄膜的质量,利用压痕法测试了所得薄膜的附着性能,研究结果表明:过渡层可有效提高微米金刚石薄膜在铜衬底上的附着力,反应气氛中Ar的存在可促使纳米金刚石薄膜的形成,改善薄膜表面的粗糙度.