硅单晶提拉生长中拉速稳定性研究

• 作者: 付永领 张凯 祁晓野
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 温度补偿 拉速稳定性 模糊控制 遗传算法 提拉法
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1493-1498
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 3741字
• 语种: 中文

摘要

为解决硅单晶提拉生长过程中拉速不稳定、波动较大的问题,在分析晶体生长界面热量及质量传输的基础上,通过控制温度补偿速率来抑制拉速大幅波动.采取基于遗传算法优化隶属度函数的模糊控制策略,对温度补偿速率进行控制,调节加热功率,使炉内热环境处于适宜晶体生长的范围.实验结果表明,在提高系统控径精度的同时,拉速稳定性也有显著提高,大幅波动明显减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付永领	北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院	202	1427	19.0	28.0
2	祁晓野	北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院	60	436	12.0	18.0
3	张凯	北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院	15	58	4.0	7.0