激光开槽技术在毫米波产品中的应用

• 作者: 王海
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 毫米波 开槽 寄生效应 插损 电压驻波比 激光刻蚀 机械透铣
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(光刻技术)
• 页码范围: 539-542
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.06.005

摘要

在毫米波产品设计中,芯片的安装方式及连接路径是影响产品性能的一个重要因素.目前的手工操作方法不能满足高性能产品设计的需要,同时也是批量化生产的工艺技术瓶颈.介绍了一种新型的在电路基片上制作芯片安装槽的激光开槽工艺技术.对机械透铣和激光蚀刻两种工艺技术进行了比较.通过研究和试验,确定了激光设备的工艺参数,在电路基片上制作出精确的芯片安装槽.经应用表明,芯片安装缝隙达到了0.1mm的水平,在键合引线处产生的插损和驻波显著降低.这种技术大幅提高了毫米波产品的装配成品率和生产效率,减小了键合引线引起的寄生效应影响,保证了毫米波产品的设计需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	14	3.0	3.0