光纤密封转接的氦质谱检漏技术研究

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤转接 氦质谱检漏 漏孔定位
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 真空检漏
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: TB774
• 字数: 1513字
• 语种: 中文

摘要

为解决光纤进入钢制容器时造成的泄漏问题,密封转接是一种有效方法.分析了光纤转接器灌胶密封结构及其缺陷,证实了转接器内部存在某些特殊的漏孔.研究了光纤密封转接的高灵敏度氦质谱检漏工艺技术,利用光纤多层保护结构形成集气空间,实现了光纤转接器内部漏率的定量检测,系统检测灵敏度高达1.0×10-11Pa·m3/s.