Pr掺杂ZnTe薄膜的结构及光学特性

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: ZnTe薄膜 光学特性 真空蒸发 稀土掺杂
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 3552字
• 语种: 中文

摘要

利用真空蒸发的方法制备ZnTe多晶薄膜.并采用双源法对薄膜进行了稀土元素Pr的掺杂.用XRD、紫外可见分光光度仪、冷热探针对薄膜的性质进行了表征.结果表明,当原子配比Zn:Te:1:0.7,热处理温度T=500℃时,可制备较理想的ZnTe多晶薄膜.稀土Pr掺杂并未改变样品的物相结构,但使薄膜光吸收增大而光学带隙增大.