金属铀膜的制备及应用现状

• 作者: 易泰民 李国荣 李朝阳 谢军 邢丕峰 郑凤成
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属铀膜 蒸镀 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 905-910
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 5487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2009.12.007

摘要

介绍了国内外目前主要采用的制备金属铀膜的技术及各制备技术的应用现状,包括机械研磨、轧制、高真空蒸发沉积,脉冲激光气相沉积和溅射沉积,重点介绍了各种制备铀膜技术的工艺条件和制备出铀膜的厚度、表面质量、成分、晶粒结构以及其表征方法.以及薄膜沉积过程中生长速率和厚度监控的常用方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
2	谢军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	164	8.0	12.0
3	李朝阳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	184	9.0	12.0
4	易泰民	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	21	2.0	4.0
5	郑凤成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	75	4.0	8.0
6	李国荣	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	3	1.0	1.0