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摘要:
为了设计可用于大幅面扫描的3维激光振镜扫描系统,深入研究了3维激光振镜扫描系统的动态响应性能及控制算法、校正算法,采用具有高响应性能的伺服机构作为系统的执行机构,合理地规划扫描路径以及扫描延时参量,设计了对扫描图形进行精确校正的扫描校正模型,开发出了一套能实现大幅面精确扫描的3维激光振镜扫描系统.该3维激光振镜扫描系统经过长期实验验证,运行稳定,其扫描重复定位精度不大于30靘,扫描精度可达100mm±0.1mm.结果表明,该3维激光振镜扫描系统在需要进行大幅面精确激光扫描行业中有重要应用价值.
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文献信息
篇名 3维激光振镜扫描系统的关键技术研究
来源期刊 激光技术 学科 工学
关键词 光学器件 振镜 动态聚焦 动态性能 扫描精度
年,卷(期) 2009,(4) 所属期刊栏目 激光与光电子技术应用
研究方向 页码范围 377-380
页数 4页 分类号 TN249
字数 3177字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.04.012
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 文世峰 1 14 1.0 1.0
2 史玉升 1 14 1.0 1.0
3 谢军 1 14 1.0 1.0
4 蔡道生 1 14 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
光学器件
振镜
动态聚焦
动态性能
扫描精度
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期刊影响力
激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
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