一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 118-120
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2079字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器.基于双金属效应,采用聚合物SU-8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器.利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数.再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析.