FIB的工作原理及其应用

• 作者: 林晓玲 章晓文 陈嫒
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 聚焦离子束 电路修改 刻蚀气体 沉积气体
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 页码范围: 4-10
• 页数: 7页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2009.z1.002

摘要

介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理,分析了影响离子束显微镜影像的因素.详细介绍了气体在聚焦离子束系统中的作用,对刻蚀气体与沉积气体种类进行了介绍,刻蚀气体可对不同的材料进行选择性刻蚀,而沉积气体可以沉积金属或介质,以进行电路的修改.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晓玲		7	31	3.0	5.0
2	章晓文		6	47	5.0	6.0
3	陈嫒		1	13	1.0	1.0