采用光电计数的激光微位移测量实验系统

• 作者: 刁维宁 李彬 杨仕广
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移 激光干涉 线阵CCD
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 1-4,13
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.5
• 字数: 3032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2009.09.001

摘要

以迈克耳孙干涉仪的光路为基础,利用CCD实时采集干涉条纹的光强信息,通过精确测量条纹的偏移量,测出物体的微位移.与传统微位移测量方法相比,He-Ne激光器、CCD等器件的使用和FFT、互相关运算等信号处理方法的运用,使得测量精度和灵敏度有较大提高,借助虚拟仪器手段还实现了微位移的全自动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨仕广		1	3	1.0	1.0
2	刁维宁		1	3	1.0	1.0
3	李彬		2	7	2.0	2.0