微射流驱动弯曲测试法测量微结构的弹性模量

• 作者: 万敏 苏伟 陈樟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米技术 微电子机械系统 力学性能 微梁弯曲法 微射流 石英玻璃
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 484-488
• 页数: 5页
• 分类号: TM206
• 字数: 2396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.08.008

摘要

提出了一种新颖的用于测量微结构力学性能的弯曲测试法--微射流驱动的弯曲测试法(microjet-driving microbending test method,JDBT).该方法利用气体微射流连续冲击微结构,使之发生弯曲变形,通过获取结构的尺寸参数和形变位移,并代入结构的变形公式,从而反解出材料的力学性能参量.利用动量定理推导了微射流作用力公式,对某型号石英摆片式加速度计的敏感结构进行了理论建模,并用COMSOL MULTIPHYSICS有限元软件对理论公式进行了修正,接着通过JDBT实验得到了不同流量下的结构位移,最后将结构尺寸和结构形变位移代入修正后的理论公式,从而得到了石英玻璃的弹性模量约为71 GPa,比纳米压痕仪测试的结果要小14%左右,与文献中提到的结果吻合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万敏	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	145	1387	20.0	29.0
2	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
3	陈樟	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	74	5.0	7.0