等离子体增强脉冲激光沉积o-BN薄膜

• 作者: 李卫青
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 等离子体增强脉冲激光沉积 氮化硼薄膜 X射线衍射谱
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 6530-6533
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.09.106

摘要

利用等离子体增强脉冲激光沉积系统在Si(100)基底上沉积出了高质量的o-BN薄膜,利用红外光谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)和原子力显微镜照片对o-BN薄膜进行了表征.通过红外光谱(FTIR)得到o-BN薄膜的红外峰特征峰值为1189 cm-1,1585 cm-1和1450 cm-1;由XRD谱得到o-BN薄膜的(111),(020),(021),(310)和(243)各晶面的衍射峰,特别是(310)和(243)晶面的衍射峰非常强;通过原子力显微镜照片清楚看到BN薄膜具有尖状突起的表面形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李卫青	天津大学理学院现代材料物理研究所天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室	1	0	0.0	0.0