篇名 | Assessment method of numerical integration used in measuring profile based on ultra-precise thin light beam scanning | ||
来源期刊 | 光电子快报(英文版) | 学科 | |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2009,(6) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 476-480 | |
页数 | 5页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1007/s11801-009-8148-1 |