ZAO薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能研究

• 作者: 任明放 徐模辉 王华 许积文
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZAO薄膜 光电性能 微观结构
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 加工工艺与应用
• 页码范围: 80-82,90
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 3020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.02.025

摘要

以普通玻璃载玻片为衬底,采用溶胶-凝胶工艺成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的ZAO薄膜.用XRD、SEM、紫外-可见光分光光度计和四探针电阻测试仪进行了结构和性能分析,研究了掺Al3+浓度、镀膜层数和退火温度对ZAO薄膜的晶体结构、形貌及光电性能的影响.当掺杂浓度为1%(原子分数)、镀膜层数为12层、在氩气气氛下经过600℃退火时,得到电阻率为1.37×10-2Ω·cm、可见光范围内平均透射率超过90%的ZAO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任明放	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	29	138	6.0	10.0
2	王华	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
3	许积文	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	68	171	6.0	10.0
4	徐模辉	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	4	28	2.0	4.0