小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究

• 作者: 周蓓 廖斌 曹焕丽 朱守正
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面螺旋微带 小功率电感耦合微波等离子体源 谐振特性 气体放电 S参数
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1860-1864
• 页数: 5页
• 分类号: TN99
• 字数: 1914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2009.08.042

摘要

本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学信息学院电子系	33	128	6.0	9.0
2	周蓓	华东师范大学信息学院电子系	16	75	6.0	8.0
3	朱守正	华东师范大学信息学院电子系	59	225	8.0	12.0
4	曹焕丽	华东师范大学信息学院电子系	2	6	2.0	2.0