微磨料水射流技术及其应用

• 作者: 唐令波 蔡黎明 邴龙健 雷玉勇
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微磨料水射流 浆液磨料 微细加工 微水射流
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG664
• 字数: 3481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2009.04.001

摘要

介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用.在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术.对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论.研究表明,为了产生射束直径100 μm以下的微磨料水射流,必须采用湿式磨料,同时完全避免空气进入.采用300 nm至8 μm氧化铝浆液磨料和Φ40-50 μm喷嘴,应用运载方法可以产生束径达Φ40-50 μm级的微细加工磨料水射流.在同样水压力下,其切割的能量密度是普通磨料水射流的4～5倍.微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷玉勇	西华大学机械工程与自动化学院	85	660	14.0	20.0
2	蔡黎明	西华大学机械工程与自动化学院	6	91	5.0	6.0
3	邴龙健	西华大学机械工程与自动化学院	6	91	5.0	6.0
4	唐令波	西华大学机械工程与自动化学院	6	91	5.0	6.0